200kV全固态Marx结构方波脉冲电源设计

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采用功率IGBT串联组合模块作为放电开关,设计了16级Marx结构的脉冲电源,能够产生可调高压方波脉冲.由9支耐压3 kV的IGBT串联组成最大工作电压12.5 kV的串联组合模块;通过磁隔离触发方式控制各级IGBT的同步导通和关断.输出电压从几kV至200 kV可调、输出脉宽随外部触发信号宽度在1.5~ 10μs范围内可调、前沿小于500 ns、后沿小于2.3μs;在输出电压大于100 kV、输出电流20 A时顶降小于2%.
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