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探讨了一种在MEMS中常见的流动系统,对N-S方程加以改进,建立相应的理论模型。采用广义微分积分方法(GDQ)进行流场数值模拟,并用蒙特卡洛直接模拟方法(DSMC)来加以验证。结果表明:新建理论模型的模拟结果与DSMC模拟结果基本吻合。该理论模型可以模拟滑移区和过渡流动区的气体流动;GDQ方法程序简单,计算成本低。