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随着集成电路技术的发展,半导体加工工艺面临特征尺寸的减小,新材料以及新结构的导入等诸多技术变革点。这些技术变革都对半导体制造设备提出了新的要求及挑战。本文将从工艺技术和量产技术两个方面,阐述半导体制造设备是如何应对先进工艺,克服挑战,并支撑着半导体技术的发展。
半导体制造设备的进步 支撑半导体产业的持续发展
【摘 要】
：
随着集成电路技术的发展,半导体加工工艺面临特征尺寸的减小,新材料以及新结构的导入等诸多技术变革点。这些技术变革都对半导体制造设备提出了新的要求及挑战。本文将从工艺
【机 构】
：
东电电子
【出 处】
：
集成电路应用
【发表日期】
：
2015年04期
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