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阐述了佳硼在晶体管制造中作为硼杂质扩散的应用，提出了一种简单有效的低温氧化改进工艺。结果表明，本工艺不仅提高了生产效率，而且获得了较满意的产品质量。
固体硼掺杂应用初探
【摘 要】
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阐述了佳硼在晶体管制造中作为硼杂质扩散的应用，提出了一种简单有效的低温氧化改进工艺。结果表明，本工艺不仅提高了生产效率，而且获得了较满意的产品质量。
【机 构】
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汕头华汕电子器件有限公司
【出 处】
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电子元器件应用
【发表日期】
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2005年12期
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