论文部分内容阅读
Parylene C膜是以氯代对二甲苯的环二体颗粒为原料，通过真空化学气相沉积法制成的新型高分子薄膜，具有优异的防潮保护性能、气体隔绝性能、物理机械性能、光学性能以及电绝缘性、生物相容性、防霉、防腐、防盐雾等多种优异特性，因此在半导体、集成电路、微电子机械系统、传感器、医用仪器、文物保护等诸多领域有着广泛应用。文中分别采用X光电子能谱（XPS）、红外光谱（IR）、裂解气相色谱质谱（PGC／MS）研究了PC膜光氧老化后的结构性能。