【摘 要】
：
高纯度的三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，是半导体与LCD产业制造过程中必备的材料。针对NF3气体中CF4杂质采用常规方法难以分离的特点，提出一种新的纯化工艺
论文部分内容阅读
高纯度的三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，是半导体与LCD产业制造过程中必备的材料。针对NF3气体中CF4杂质采用常规方法难以分离的特点，提出一种新的纯化工艺——低温萃取精馏纯化法，对低温萃取精馏生产高纯NF3过程的工艺流程进行了研究，并采用AspenPlus在广泛操作条件下对精馏过程进行了精馏模拟计算。通过工艺试验，找到适合于本物系的精馏运行参数，优化了生产流程，稳定了工艺系统运行，三氟化氮纯度达到了99．999％以上，产品中的CF4杂质含量低于10×10^-6（V／V）。
其他文献
<正>企业危机(crisis)是指企业由于忽视其面临的危险、风险、事故、事件,或对其处置不当、管理不善而使企业处于危急、极为不利的状态,这种状态严重时可以导致企业陷入困境,
本文在追述法国大学发展的历史及其所形成的传统的基础上,对近半个世纪的法国大学管理改革,尤其是近十几年来法国大学管理体制的重大举措"合同制"等问题进行了介绍和深入分析
实验教学是护理学本科生教育的重中之重,实验教学和临床实践教学一直是探索和改革实践的靶点,做好实验教学和临床实践的改革与创新,将大大提高护理本科生的质量和实践能力。
外教是高职高专引进国外教学理念的重要组成部分,其在高职高专的人才培养和教学改革等方面发挥了重要作用。外教的数量也成为评估高职高专师资力量是否雄厚的一项参考指标。
传统农业生产模式中施肥、灌溉、病虫害的防治等多数依靠农民的经验积累来完成,体现出粗放性、不确定性的特点。智慧农业实现了计算机技术、互联网技术、物联网技术的有机融
甜菜夜蛾是驻马店地区蔬菜发生的主要害虫,发生严重时损失可高达50%左右。美国陶氏益农有限公司生产的"雷通"杀虫剂,是新型促脱皮仿生杀虫剂,对多数鳞翅目害虫有很好的防治效
<正> 一唐朝初年,在各级官府中,除了与李唐皇室关系密切的周隋贵族以及唐高祖李渊为了团结地主阶级各方面人士而收罗的江南、山东的贵族和士族以外,在建国过程中“卜祝庸保,
<正> 清前期(1644—1840年)是中国两千年封建社会中人口增长最快的一个时期,它直接奠定了中国现代人口规模的基础。深入研究这一时期的人口问题,对于发现中国人口增长的规律,
本文利用线性系统稳定性理论对空投鱼雷雷伞系统纵向运动稳定性进行研究,推导了空投鱼雷满足空中动稳定要求的充要条件,对影响空投鱼雷空中稳定性诸因素进行了分析,进而对某