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二次离子质谱分析
二次离子质谱分析
来源 :上海计量测试 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gulongliu
【摘 要】
:
一、引言二次离子质谱(SecondaryIon Mass Spectrometry)是一种用于分析固体材料表面组分和杂质的分析手段.通过一次离子溅射,SIMS可以对样品进行质谱分析、深度剖析或成二次
【作 者】
:
王铮
曹永明
李越生
方培源
【机 构】
:
复旦大学材料科学系国家微分析中心
【出 处】
:
上海计量测试
【发表日期】
:
2003年3期
【关键词】
:
固体材料
表面组分
杂质
二次离子质谱分析
SIMS
工作原理
深度剖析
二次离子像
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一、引言二次离子质谱(SecondaryIon Mass Spectrometry)是一种用于分析固体材料表面组分和杂质的分析手段.通过一次离子溅射,SIMS可以对样品进行质谱分析、深度剖析或成二次离子像.
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