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首先简要介绍了缺陷修复系统中自动喷涂技术的定义,应用自动喷涂技术修复掩模版透明缺陷的优势以及实验目的,然后通过实验确定了对掩模版透明缺陷实现完美修复的自动喷涂参数的最佳组合,最后总结了实验结论。
应用自动喷涂技术修复掩模版透明缺陷实验
【摘 要】
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首先简要介绍了缺陷修复系统中自动喷涂技术的定义,应用自动喷涂技术修复掩模版透明缺陷的优势以及实验目的,然后通过实验确定了对掩模版透明缺陷实现完美修复的自动喷涂参数
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十七研究所
【出 处】
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微处理机
【发表日期】
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2009年2期
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