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介绍了美国1006A型切割机切割玻璃钝化管芯中的改进及用制冷系统处理管芯的应用.通过技术论证和实验证明,设备改进后,产品的质量和产量明显提高.
玻璃钝化管芯在切割中的改进及冷冻裂片的应用
【摘 要】
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介绍了美国1006A型切割机切割玻璃钝化管芯中的改进及用制冷系统处理管芯的应用.通过技术论证和实验证明,设备改进后,产品的质量和产量明显提高.
【机 构】
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山东省半导体研究所
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
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2002年8期
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