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因镀层能延长工具使用寿命而迅速推广应用,本文论述TiN的工程特性和经济性,SIP法沉积TiN的主要工艺。
氮化钛镀层、离子溅射镀法
【摘 要】
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因镀层能延长工具使用寿命而迅速推广应用,本文论述TiN的工程特性和经济性,SIP法沉积TiN的主要工艺。
【机 构】
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江西省经委
【出 处】
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国外金属热处理
【发表日期】
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1987年3期
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