用于地震仪或其它装置中的具有完整检测质块的改进微机械悬浮板

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本发明公开了一种使用平面内悬挂几何结构的加速计或地震仪。该悬挂几何结构具有悬浮板以及至少一个固定电容板。悬浮板由单一件形成,并且包括外部框架、一对柔性件、以及位于柔性件之间的集成的检测质块。柔性件使得检测质块在悬挂平面内沿灵敏方向运动,同时限制沿所有离轴方向的运动。检测质块的离轴运动通过使用在柔性件内或其间支出的中间框架而最小化。
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