【摘 要】
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B2O3的吸水性特别强,水含量不同,其与p BN坩埚浸润状态也会有所不同,B2O3与p BN坩埚壁的浸润状态对晶体生长能否成功非常重要。同时,B2O3添加量的多少也会影响晶体生长中熔体
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
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B2O3的吸水性特别强,水含量不同,其与p BN坩埚浸润状态也会有所不同,B2O3与p BN坩埚壁的浸润状态对晶体生长能否成功非常重要。同时,B2O3添加量的多少也会影响晶体生长中熔体的化学计量比,从而影响成晶。通过对VGF晶体生长工艺中所使用的液封剂B2O3的水含量及添加量对砷化镓晶体成晶率影响的试验分析,确定合理的添加量及水含量,提高了砷化镓晶体生长的成晶率,使掺硅砷化镓单晶生长的成晶率达到75%以上,有效地降低了生产成本。
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