用光波导法测量外延石榴石薄膜的光学参数

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用棱镜耦合在磁性石榴石外延膜进行光导波传输,通过测量传输耦合角,可同时确定外延膜的折射率和厚度。薄膜折射率测量误差为2.8×10^-3,薄膜厚度测量相对误差为0.005。
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