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用光波导法测量外延石榴石薄膜的光学参数
用光波导法测量外延石榴石薄膜的光学参数
来源 :华中理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:za123aaa
【摘 要】
:
用棱镜耦合在磁性石榴石外延膜进行光导波传输,通过测量传输耦合角,可同时确定外延膜的折射率和厚度。薄膜折射率测量误差为2.8×10^-3,薄膜厚度测量相对误差为0.005。
【作 者】
:
欧阳嘉
苏钧
【机 构】
:
华中理工大学固体电子学系
【出 处】
:
华中理工大学学报
【发表日期】
:
1994年4期
【关键词】
:
石榴石薄膜
波导法
测量
光学参数
magneto-optical film
prism coupling
wave-guide parameters
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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用棱镜耦合在磁性石榴石外延膜进行光导波传输,通过测量传输耦合角,可同时确定外延膜的折射率和厚度。薄膜折射率测量误差为2.8×10^-3,薄膜厚度测量相对误差为0.005。
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