超声雾化方法中两步沉积对YBCO薄膜性能的影响

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sailala77882001

【摘要】

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用自行研制的超声雾化装置在{110}〈011〉织构的Ag基带上直接沉积了YBCO涂层超导薄膜，结果发现一步沉积所得YBCO薄膜的表面有许多白色小颗粒，而且薄膜的织构和临界电流密度都较

【作者】

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刘敏索红莉赵跃张迎肖刘丹敏周美玲

【机构】

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北京工业大学国家教育部功能材料重点实验室

【出处】

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无机材料学报

【发表日期】

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2007年2期

【关键词】

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涂层超导 YBCO薄膜织构Ag基底超声雾化热分解方法 coated conductor YBCO film textured Ag substrate

【基金项目】

：

国家863项目（2002AA306221）,国家973项目（2006CB601005）

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用自行研制的超声雾化装置在{110}〈011〉织构的Ag基带上直接沉积了YBCO涂层超导薄膜，结果发现一步沉积所得YBCO薄膜的表面有许多白色小颗粒，而且薄膜的织构和临界电流密度都较低，这是在900℃高温沉积过程中大量的Ag蒸发和扩散到YBCO膜层中所致．于是本文提出分高低温两步沉积的实验方案，即700℃先沉积15min，再升温到900℃沉积30min，通过SEM对薄膜表面和EDS能谱对薄膜的断面进行分析可知，两步沉积的YBCO薄膜中Ag的含量大大降低，而且薄膜的织构和临界电流密度得到明显改善和提高，最后

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