【摘 要】
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光刻光源优化作为必不可少的分辨率增强技术之一,能够提高先进光刻成像质量。在先进光刻领域,光源优化的收敛效率和优化能力是至关重要的。粒子群优化算法作为一种全局优化算法,自适应控制策略可以提高粒子的全局搜索能力,非线性控制策略可以扩大粒子搜索范围。本文提出一种基于自适应非线性控制策略的粒子群优化算法,将光刻光源优化问题转换成多变量评价函数求解。对简单周期光栅图形和不规则图形进行成像优化仿真,通过粒子群优化算法的全局迭代特性优化光源形貌。利用图形误差(PEs)作为多变量评价函数,对迭代300次的仿真结果进行评价
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,中国科学院大学
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(61604154,61875201,61975211,62005287)。
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光刻光源优化作为必不可少的分辨率增强技术之一,能够提高先进光刻成像质量。在先进光刻领域,光源优化的收敛效率和优化能力是至关重要的。粒子群优化算法作为一种全局优化算法,自适应控制策略可以提高粒子的全局搜索能力,非线性控制策略可以扩大粒子搜索范围。本文提出一种基于自适应非线性控制策略的粒子群优化算法,将光刻光源优化问题转换成多变量评价函数求解。对简单周期光栅图形和不规则图形进行成像优化仿真,通过粒子群优化算法的全局迭代特性优化光源形貌。利用图形误差(PEs)作为多变量评价函数,对迭代300次的仿真结果进行评价
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