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共焦测量方法以其独特的光学截面分辨能力和高精度的轴向分辨率受到极其广泛的关注。近年来提出的利用微光器件分割光路的思想实现了非扫描共焦成像。本文给出了共焦测量系统的结构，着重讨论了对微光器件的参数要求以及制作过程和理论分析，并结合实验系统给出实际制作的微光器件的具体参数。
用于共焦系统中的微光器件的制作
【摘 要】
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共焦测量方法以其独特的光学截面分辨能力和高精度的轴向分辨率受到极其广泛的关注。近年来提出的利用微光器件分割光路的思想实现了非扫描共焦成像。本文给出了共焦测量系统
【机 构】
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西安交通大学激光与红外技术应用研究所
【出 处】
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光电子技术与信息
【发表日期】
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2000年4期
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