【摘 要】
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数字微镜阵列扫描曝光图形在某些方向的边缘存在约一个像素的锯齿,对此设计自由曲面光学透镜,将其安装在距离数字微镜阵列窗口玻璃1mm附近,使微镜阵列成像线性错位,在保持原
【机 构】
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东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(No.61875036);吉林省科技发展计划,吉林省科技发展计划项目(No.20190302049GX);应用光学国家重点实验室开放基金(No.SKLAO201806);空间光电测量与感知实验室开放基金课题(No.LabSOMP-2018-05)~~
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数字微镜阵列扫描曝光图形在某些方向的边缘存在约一个像素的锯齿,对此设计自由曲面光学透镜,将其安装在距离数字微镜阵列窗口玻璃1mm附近,使微镜阵列成像线性错位,在保持原有线宽和光刻效率的情况下,平滑曝光图形边缘.理论分析了微镜阵列成像线性错位形式及其表达式.根据物像映射原理,用Matlab软件计算出自由曲面光学透镜面形初始数据,通过Zemax软件优化得到理想透镜模型,模拟了安装该透镜模型前后曝光图形效果.结果表明:在±2μm容差范围内,安装该透镜且曝光总能量为原来的0.9倍时,曝光图形的横线边缘锯
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