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通过JJG 101-2004《接触式干涉仪》和JJG146-2011《量块》检定规程,本文探讨了接触式干涉仪工作台平面度在量块长度测量中的引入误差,结果显示使用接触式干涉检定量块长度时,在极端条件下,工作台平面度引入的误差较大,可能会影响量块的合格评定。
接触式干涉仪工作台平面度在量块长度测量中引入误差的探讨
【摘 要】
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通过JJG 101-2004《接触式干涉仪》和JJG146-2011《量块》检定规程,本文探讨了接触式干涉仪工作台平面度在量块长度测量中的引入误差,结果显示使用接触式干涉检定量块长度时,
【机 构】
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贵州省计量测试研究院
【出 处】
：
计量与测试技术
【发表日期】
：
2018年6期
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