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简要介绍低温共烧陶瓷（LTCC）基板生产过程中的标记、定位、对准的方法及要求。
低温共烧陶瓷（LTCC）的标记、定位、对准系统
【摘 要】
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简要介绍低温共烧陶瓷（LTCC）基板生产过程中的标记、定位、对准的方法及要求。
【机 构】
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中国兵器工业第214研究所
【出 处】
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集成电路通讯
【发表日期】
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2005年4期
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