【摘 要】
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本文提出了对半导体集成电路进行管壳内气氛分析的重要性,并进行了研究。介绍了一种通过硅橡皮,用气体置换的取样方法。对不同功能的组件管壳中的硫化物、氯化物作了气相色谱
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本文提出了对半导体集成电路进行管壳内气氛分析的重要性,并进行了研究。介绍了一种通过硅橡皮,用气体置换的取样方法。对不同功能的组件管壳中的硫化物、氯化物作了气相色谱测定,其含量在10~(-10)-10~(-11)克。
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