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用射频辉光放电离解烃制备了类金刚石碳膜。由IR、XPS、AES、Raman、SEM、TEM、TED和元素分析等手段,分析表征了膜的组成、碳原子化学键态和晶形结构。表明膜是sp~3C-C和C-H键为主体的非晶态,在非晶碳基质中存在一定的微晶石墨和金刚石成分。
类金刚石碳膜的组成和结构
【摘 要】
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用射频辉光放电离解烃制备了类金刚石碳膜。由IR、XPS、AES、Raman、SEM、TEM、TED和元素分析等手段,分析表征了膜的组成、碳原子化学键态和晶形结构。表明膜是sp~3C-C和C-H
【机 构】
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中国科学院成都有机化学研究所,中国科学院成都有机化学研究所610015,610015,610015
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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1991年6期
【基金项目】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室资助课题
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