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利用FLUENT软件模拟了CVD法制备ZnO时双管管式炉内流场的分布。研究了在无化学反应发生时,重力对Zn蒸汽分布的影响,以及在有化学反应发生时,保持进气总量不变的情况下,O2含量对ZnO质量分布和反应速率分布的影响。模拟结果表明：重力有利于Zn蒸汽由内管向外管的扩散及Zn蒸汽与O2的充分接触;当有化学反应时,保持进气总量不变,最大反应速率及对应的ZnO质量分数随着O2含量减小而增大;反应生成的ZnO主要均匀分布在管式炉外管的下游区域。