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脉冲激光制膜过程中等离子体演化规律的研究

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sunping521
【摘 要】
：
利用有限差分法对脉冲激光沉积(PLD)技术制备KTa0.65Nb0.35O3(KTN)薄膜过程中等离子体在等温和绝热两个阶段的速度演化进行了模拟,并给出了其中主要粒子在空间的具体演化规律
【作 者】
：
张端明 关丽 李智华 钟志成 侯思普 杨凤霞 郑克玉 
【机 构】
：
华中科技大学[主校区]物理系,华中科技大学激光技术国家重点实验室,湖北襄樊学院物理系
【出 处】
：
物理学报
【发表日期】
：
2004年期
【关键词】
：
脉冲激光沉积 等离子体 有限差分 速度演化 KTN薄膜 
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利用有限差分法对脉冲激光沉积(PLD)技术制备KTa0.65Nb0.35O3(KTN)薄膜过程中等离子体在等温和绝热两个阶段的速度演化进行了模拟,并给出了其中主要粒子在空间的具体演化规律,对等离子体在空间膨胀的物理机制,进行了深入的讨论,给出了相应演化过程的物理图像,并揭示了等离子体羽辉在膨胀过程中呈现椭球外形的内在原因.
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