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智能真空在线镀膜测厚仪

来源 :仪器仪表与分析监测 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jhyyxz

【摘 要】

：

介绍了一种基于ATMELAVR8515单片机控制的真空在线镀膜测厚仪的工作原理,给出了用于真空镀膜在线厚度测量的测量原理及该测量仪的硬件组成原理和相应的软件设计方法和流程框

【作 者】

：

张金敏 王思明 

【机 构】

：

兰州交通大学机电工程学院

【出 处】

：

仪器仪表与分析监测

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

：

真空镀膜 单片机 在线测试 可靠性 测厚仪 

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介绍了一种基于ATMELAVR8515单片机控制的真空在线镀膜测厚仪的工作原理,给出了用于真空镀膜在线厚度测量的测量原理及该测量仪的硬件组成原理和相应的软件设计方法和流程框图.该测厚仪设计了与上位计算机进行远距离信号传输的RS-232C接口,通过上位计算机可以实现测厚仪系统参数的设定和控制.实际应用表明该仪器具有良好的性能和可靠性.

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