GeSi/Si Mach-Zehnder干涉型调制器的研制

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基于 Ge Si合金的等离子体色散效应 ,研制了一种 Mach- Zehnder干涉型调制器 ,通过对其损耗和调制特性的测试得到 :调制器对 1 .3μm光的插入损耗为 6 .5 d B,最大调制深度达 86 % ,相应的 π相移调制电压为 0 .9V,关断电流和调制区的注入电流密度分别为 40 m A和 0 .97k A/ cm2 。 Based on the plasma dispersion effect of Ge Si alloy, a Mach-Zehnder interference modulator was developed. The loss and modulation characteristics of the modulator were tested. The insertion loss of the modulator to 1.3 μm light was 6.5 d B, The maximum modulation depth is 86%, the corresponding π-phase shift modulation voltage is 0.9V, the turn-off current and the injection current density in the modulation region are 40 m A and 0 .97 kA / cm2, respectively.
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