【摘 要】
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国内高功率射频板条CO2激光器铜电极表面没有镀介质膜,裸铜在放电程中,表面容易氧化,受激光电子溅射及激光损伤,波导损耗大,影响了激光器的出光效率.针对以上问题,课题组研制
【机 构】
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文华学院机械与电气工程学部,湖北武汉,430074;武昌理工学院信息工程学院,湖北武汉,430070;天津市蓟州区下营医院,天津,301900
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国内高功率射频板条CO2激光器铜电极表面没有镀介质膜,裸铜在放电程中,表面容易氧化,受激光电子溅射及激光损伤,波导损耗大,影响了激光器的出光效率.针对以上问题,课题组研制了Al+Al2O3混合波导介质膜,对该电极膜层进行了成分分析,测试了抗电子溅射能力,检测了膜层表面对CO2光波反常色散特性.结果 表明,镀膜层主要成分为Al和O,原子数Al∶O远大于2∶3,膜层结构为Al+ Al2O3,满足电极镀膜层结构设计.测试了不同角度下的反射率,在掠入射角为10°～170°时,Al2O3膜层对波长10.6 μm CO2光波的最高反射率为85％.Al2O3镀膜电极2 kW射频板条CO2激光器,电光转换效率平均为10.4％;裸铜电极2 kW射频板条CO2激光器,平均电光转换效率为6.5％.
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