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具有任意图形编码的二值位相光栅的制作
具有任意图形编码的二值位相光栅的制作
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pyking2003
【摘 要】
:
基于大规模集成电路加工技术介绍具有任意图形编码的二值位相光栅的制作 过程。其中包括振幅模母版的制作和掩模图形的转移两部位。针对制作的25×25扇出的Dammann光栅,给出了实测结
【作 者】
:
桑涛
廖江红
【机 构】
:
中国科学院上海技术物理研究所
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
1997年1期
【关键词】
:
光栅
衍射
VLSI
光学信息处理
Gratings
Diffraction
VLSI
Optical computing
Optical informatio
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基于大规模集成电路加工技术介绍具有任意图形编码的二值位相光栅的制作 过程。其中包括振幅模母版的制作和掩模图形的转移两部位。针对制作的25×25扇出的Dammann光栅,给出了实测结果。
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