具有任意图形编码的二值位相光栅的制作

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pyking2003
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
基于大规模集成电路加工技术介绍具有任意图形编码的二值位相光栅的制作 过程。其中包括振幅模母版的制作和掩模图形的转移两部位。针对制作的25×25扇出的Dammann光栅,给出了实测结果。
其他文献
在研制大视场、高精度光电测量设备过程中,采用多块CCD拼接技术是重要手段之一.本文介绍了一种利用单心球面系统进行CCD拼接的方法,提出建立相机数学模型和安装在球面上CCD的
私人银行其实是市场经济走向成熟的必然产物,也是现代金融体系不可或缺的组成部分。随着经济发展,私人银行业务的被需求程度显著增强——不仅高净值人群迫切需要私人银行所提
合成了激光染料罗丹明掺杂的改性聚合基丙烯酸甲酯。研究了R6G掺杂MPMMA的吸收光谱,激光光谱及发射光谱。在Nd:YAG激光器532nm倍频激光作用下,看到了激光谐振。
对二甲氨基苯腈“Dimethylaminobenzonitril”(DMABN)由于双光子吸收所导致的双荧光现象进行了实验研究,实验所得的单光子与双光子作用下双荧光光谱基本相似,从而说明由基态到激发态的跃迁不受对称选择定则的限
提出了利用差分法计算原子分子纯振动和振-转能级的具体方法。利用了差分法计算了^7Li2的能级并且把计算的结果和Ley-Koo等人用其他方法计算的结果作了对比,指出了这种计算方法
借CINTE Techtextil China2010之际,Oerlikon Neumag(欧瑞康纽马格)公司宣布了今年5月在台湾成功获得1条产能达300t/d的合成短纤生产线订单的消息。这套短纤维生产设备价值达数百
研究了PZT双压电薄膜管道微机器人的功率消耗,推导出其功耗计算公式S=Kfcv2,指出微机器人功耗与驱动电压幅值平方成正比,与驱动电压的频率成正比,与微机器人的电容成正比.优
日前,本市启动首例增殖放流海马品种,丰富渤海种群数量、改善海洋环境。据悉,此次放流的1万尾海马是由新区海升源海洋科技开发有限公司工厂化养殖的。此前,新区产的大量虾苗、鱼
报纸
提供一种机载设备工作状态记录系统,将机载设备在空中的各种工作状态,包括飞机发给机载设备的控制命令,飞机给机载设备的供电状况等逐一记录下来,供飞机飞回地面后进行数据分
根据麦克斯韦基本方程组,推导了描述二元光栅衍射特性的矢量理论分析方法——严格的耦合波方法,给出了TE、TM 两种偏振模式入射下的耦合波方程。应用该方法对二元位相光栅的衍射特