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针对微结构在静电力作用下的吸合不稳定问题，考虑一类典型的单自由度静电驱动微传感器振动系统，将时滞位置反馈施加在系统的直流偏置电压上，研究引起微结构的动态吸合和吸合不稳定的系统参数条件，以及时滞反馈对吸合不稳定的抑制机理。运用 Melnikov 函数法得到时滞受控系统中引起结构吸合不稳定的交流电压的临界幅值。并基于时滞受控系统的安全域随控制参数的演变，定量上研究时滞反馈对吸合不稳定的控制。数值结果和理论分析均表明：在正的反馈增益系数和较小的时滞量下，时滞位置反馈能够有效地抑制静电驱动微结构的吸合不稳定现象。