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静电损伤失效可能是热击穿（电流）造成的结或金属布线熔融失效，也可能是强电场（电压）诱发的介质失效，文章主要从电流热击穿方面探讨了静电触发时的ESD（Electro—Static-Discharge）保护结构的保护机理和失效机理以及工艺和版图上的应对措施。保护结构工作时的电流泄放能力决定了其保护能力，这种能力可以通过使泄放电流均匀、优化PN结特性等方面加强。电流泄放的均匀性可以在工艺版图上进行优化，结两侧浓度决定了结的耐受能力和结上的偏压，进而影响器件功耗。另外还提及了保护结构的贞面影响以及工艺上的优化方案