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微电子机械系统(M一定程度的不平面貌,针对这一现象提出了"应力模型",用来解释腐蚀后表面粗糙度出现的物理机制,对表面激活能、腐蚀液激活能等物理概念进行了分析,提出了腐蚀表面粗糙度的计算公式,解释了各向异性腐蚀与表面形貌相关的实验现象.
各向异性腐蚀表面粗糙度的“应力模型”
【摘 要】
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微电子机械系统(M一定程度的不平面貌,针对这一现象提出了"应力模型",用来解释腐蚀后表面粗糙度出现的物理机制,对表面激活能、腐蚀液激活能等物理概念进行了分析,提出了腐蚀
【机 构】
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南京电子器件研究所,北方工业大学现场总线技术与自动化北京市重点实验室,东南大学教育部微机电系统（MEMS）重点实验室
【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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2003年3期
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