【摘 要】
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为实现电子束曝光机扫描场的线性畸变校正,设计了图形发生器的成像系统,该系统包括硬件和软件两部分.硬件设计上使用了高速、高精度模数转换器,并对其工作方式及图像采集流程
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为实现电子束曝光机扫描场的线性畸变校正,设计了图形发生器的成像系统,该系统包括硬件和软件两部分.硬件设计上使用了高速、高精度模数转换器,并对其工作方式及图像采集流程做了具体阐述.软件设计上利用点阵成像的原理,把采集到的图像信号转变成相应的灰度值,并按点阵排列,将最终获得的图像显示在计算机屏幕上,以实现校正.同时还给出了对图像进行局部放大的方法及计算公式.实验证明,该成像系统工作正常,可以获得清晰的图像.
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