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利用RF-DC辉光放电等离子化学气相沉积法制备了非晶碳氢膜,并测试了其介电谱,用分形理论研究了这种无序结构材料的介电谱与物质结构的关系.结果表明,低频反常色散介电谱确实可以传达物质结构的信息.
非晶碳氢膜的介电谱与分形结构
【摘 要】
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利用RF-DC辉光放电等离子化学气相沉积法制备了非晶碳氢膜,并测试了其介电谱,用分形理论研究了这种无序结构材料的介电谱与物质结构的关系.结果表明,低频反常色散介电谱确实
【机 构】
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西北大学物理学系
【出 处】
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西北大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2001年4期
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