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针对HCD离子镀的特点设计了N2/Ar流量控制系统,提出将PID自寻最优控制算法与双闭环变比值调节器结合,以进一步提高控制系统的自适应性能,发挥其鲁棒性强的特点。
自寻最优控制方法在真空阴极离子镀（HCD）中应用
【摘 要】
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针对HCD离子镀的特点设计了N2/Ar流量控制系统,提出将PID自寻最优控制算法与双闭环变比值调节器结合,以进一步提高控制系统的自适应性能,发挥其鲁棒性强的特点。
【机 构】
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中南大学控制工程与信息学院,湖南冶金职业技术学院
【出 处】
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湖南冶金职业技术学院学报
【发表日期】
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2007年4期
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