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用Nd：YAG固体倍频激光器在水中对Si片进行微刻蚀比在空气中产生的飞溅物少。对两种条件下的刻蚀速率、刻槽表面形貌进行了比较。实验结果得到最窄的刻缝宽度小于50μm，表面不平整度小于5μm，为工业用激光切割Si片提供了更好的工艺。
水浴条件下YAG倍频激光切割Si片的实验研究
【摘 要】
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用Nd：YAG固体倍频激光器在水中对Si片进行微刻蚀比在空气中产生的飞溅物少。对两种条件下的刻蚀速率、刻槽表面形貌进行了比较。实验结果得到最窄的刻缝宽度小于50μm，表面不平
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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2004年2期
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