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介绍了基于MEMS的微型燃料电池的国内外研究动态,对其技术关键进行了阐述.在此基础上,对微型燃料电池的换气方法进行了研究.提出一种低功耗、体积小的压电风扇,对其力学模型进行了分析,并进行了风速、振幅、功耗等方面的实验研究,初步证明其应用于微型燃料电池换气的可行性.
MEMS微型燃料电池及其基于压电风扇的换气方法
【摘 要】
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介绍了基于MEMS的微型燃料电池的国内外研究动态,对其技术关键进行了阐述.在此基础上,对微型燃料电池的换气方法进行了研究.提出一种低功耗、体积小的压电风扇,对其力学模型
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制研究室
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年7期
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划)，国家高技术研究发展计划(863计划)
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