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对高纯钼溅射靶材的国内外研究现状进行了介绍,对高纯钼溅射靶材急需解决的几个问题和发展趋势做了探讨,并且对其今后的研究和发展提出了建设性意见。
高纯钼溅射靶材的研究现状及发展趋势
【摘 要】
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对高纯钼溅射靶材的国内外研究现状进行了介绍,对高纯钼溅射靶材急需解决的几个问题和发展趋势做了探讨,并且对其今后的研究和发展提出了建设性意见。
【机 构】
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西安建筑科技大学冶金学院,西安电炉研究所有限公司,金堆城钼业股份有限公司,
【出 处】
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热加工工艺
【发表日期】
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2013年24期
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