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High Resolution Medium Energy ion Scattering Analysis for Investigating UltraShallow Junction of Ant
【机 构】
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DepartmentofElectronicEngineering,DepartmentofAppliedSciences,AdvancedTechnologyInstitute
【出 处】
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材料科学与工程：中英文A版
【发表日期】
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2016年1期
【基金项目】
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The authors thank the Kuwait Government, this work has been supported by the Public Authority of Applied Education and Training （PAAET） of the State of Kuwait （grant TS-15-01）. We also thank the Unive
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