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文章主要介绍了如何通过碱液淋洗工艺对于在硅烷流化床法生产多晶硅的过程中所产生的硅烷废气进行无害化处理以满足环保要求。
多晶硅生产过程中硅烷废气的处理
【摘 要】
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文章主要介绍了如何通过碱液淋洗工艺对于在硅烷流化床法生产多晶硅的过程中所产生的硅烷废气进行无害化处理以满足环保要求。
【机 构】
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陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司
【出 处】
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化工管理
【发表日期】
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2019年26期
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