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为了减少准分子激光器发射的脉冲与脉冲之间的能量的波动变化,给光刻工艺或微细加工的精度带来影响,需要对一系列激光脉冲的总能量进行控制,使单位点所受激光总的能量误差保持在一定容许范围内。基于DSP芯片开发了用于控制激光脉冲能量的实时嵌入式系统,深入研究了嵌入式系统的系统结构、软硬件设计和控制算法,在实际应用中取得了良好的效果。