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本文综述了国际上SiC单晶生长的发展历史及现状。从其结构特点生长方法的选择 ,生长过程中的问题以及存在的晶体缺陷等方面进行了介绍
SiC单晶生长
【摘 要】
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本文综述了国际上SiC单晶生长的发展历史及现状。从其结构特点生长方法的选择 ,生长过程中的问题以及存在的晶体缺陷等方面进行了介绍
【机 构】
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山东大学晶体材料国家重点实验室
【出 处】
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材料科学与工程学报
【发表日期】
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2003年02期
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