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版库装置是一些半导体设备的必要组件，版库装置的主要功能是：对放置于版库上的版盒进行检测．识别版盒中掩模版的存贮状况；锁定或解锁版盒；将指定版槽定位到版交接位置，从而对指定版槽进行放掩模版或取掩模版操作等。版库软件设计开发的目的就是为了实现上述功能。对版库软件的设计开发过程应用软件工程的方法。
版库装置应用软件的设计与开发
【摘 要】
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版库装置是一些半导体设备的必要组件，版库装置的主要功能是：对放置于版库上的版盒进行检测．识别版盒中掩模版的存贮状况；锁定或解锁版盒；将指定版槽定位到版交接位置，从而对指定版
【机 构】
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上海微高精密机械工程有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2008年8期
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