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为解决纳米级大范围的非接触测量问题,提出了基于差动式共焦显微技术的光聚焦探测系统.介绍了系统的工作原理和结构装置,对系统中
差动共焦式纳米级光聚焦探测系统的研究
【摘 要】
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为解决纳米级大范围的非接触测量问题,提出了基于差动式共焦显微技术的光聚焦探测系统.介绍了系统的工作原理和结构装置,对系统中
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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光学技术
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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总装备部科技攻关项目;
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