微型压电单晶俘能器研究

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建立了一曲梁压电单晶MEMS压电俘能器的分析模型。利用曲梁理论建立该矩形截面梁的动力学方程。采用ANSYS软件对该曲梁的结构参数进行了初步的分析。分析结果表明压电曲梁的第一阶谐振频率与其结构尺寸之间存在较复杂的关系。该仿真结果可为压电俘能器的设计提供参考。
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