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大规模集成电路单晶硅片制作过程中需要大量的相关材料和化学品；其中需要大量的高纯和超净化学试剂，即微电子化学试剂，又称MOS试剂。本文对微电子化学试剂的市场及其开发应用的进展作了简单介绍。
微电子化学试剂
【摘 要】
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大规模集成电路单晶硅片制作过程中需要大量的相关材料和化学品；其中需要大量的高纯和超净化学试剂，即微电子化学试剂，又称MOS试剂。本文对微电子化学试剂的市场及其开发应用的
【机 构】
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上海华谊（集团）公司
【出 处】
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上海化工
【发表日期】
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2002年21期
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