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低温反应溅射沉积α-(Al,Cr)_2O_3膜

来源 :材料研究学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zxw123321

【作 者】

：

邱万奇  王书林  程奕天  刘仲武  钟喜春  焦东玲  周克 

【出 处】

：

材料研究学报

【发表日期】

：

2018年04期

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