【摘 要】
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微型机器人是微电子机械系统的一个重要分支,由于它能进入人类和宏观机器人所不及的狭小空间,近年来备受关注。微/纳米技术的迅速发展促进了微型机器人技术的发展,本文主要分析了国内外微型机器人的研究现状。
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微型机器人是微电子机械系统的一个重要分支,由于它能进入人类和宏观机器人所不及的狭小空间,近年来备受关注。微/纳米技术的迅速发展促进了微型机器人技术的发展,本文主要分析了国内外微型机器人的研究现状。
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