【摘 要】
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本文应用多极场像差校正理论,通过对大偏转角下五级偏转像差中的彗差进行分析得出,在五级偏转彗差中存在Dilemma效应,即五级彗差的某种线性组合是一常数,它不受十极场的影响.五级彗差应在
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本文应用多极场像差校正理论,通过对大偏转角下五级偏转像差中的彗差进行分析得出,在五级偏转彗差中存在Dilemma效应,即五级彗差的某种线性组合是一常数,它不受十极场的影响.五级彗差应在这个常数为0或较小值时,通过调整十极场分布进行校正,对影响Dilemma常数的因素进行了计算分析。
In this paper, the multipole aberration correction theory is applied to analyze the coma aberration in the fifth-order deflection aberration under a large deflection angle. It is found that there is a Dilemma effect in the fifth-order deflection coma, that is, a certain linearity Combination is a constant, it is not affected by the ten field. Fifth-order coma should be in this constant is 0 or less, by adjusting the ten-field distribution correction, the factors that affect the Dilemma constant were calculated and analyzed.
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