【摘 要】
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为了研究磷酸对AlN陶瓷烧结的影响,利用磷酸对AlN粉末进行酸洗处理制备了具有较高抗水解能力的AlN粉末,在碳管炉氮气气氛下进行陶瓷烧结;利用XRD和SEM对AlN陶瓷进行了表征,并进行了密度的测定。结果表明磷酸酸洗降低了AlN的含氧量,优化了粉末烧结性能,有利于AlN陶瓷的致密化。经过磷酸酸洗的粉末在1800℃下烧结,陶瓷样品微观结构良好,相对密度为98.8%,且没有新杂质相形成。
【基金项目】
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国家自然科学基金（50801037）国家自然科学基金（51071082）； 教育部博士学科点专项基金（20103601110001）教育部长江学者和创新团队发展计划（IRT0730）教育部新世纪优秀人才支持计划（2010年度）；
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为了研究磷酸对AlN陶瓷烧结的影响,利用磷酸对AlN粉末进行酸洗处理制备了具有较高抗水解能力的AlN粉末,在碳管炉氮气气氛下进行陶瓷烧结;利用XRD和SEM对AlN陶瓷进行了表征,并进行了密度的测定。结果表明磷酸酸洗降低了AlN的含氧量,优化了粉末烧结性能,有利于AlN陶瓷的致密化。经过磷酸酸洗的粉末在1800℃下烧结,陶瓷样品微观结构良好,相对密度为98.8%,且没有新杂质相形成。
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