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扫描隧道显微镜(STM)是一种可以在实空间观察到原子级分辨率图像的实验仪器,且发展出许多衍生仪器,如原子力显微镜(AFM)、扫描近场光学显微镜(SNOM)等,统称为扫描探针显微镜(SPM).但是以往大多数STM是在室温条件下工作的,不能实时观察样品随温度变化的情况.本文介绍德国Omicron公司新开发的变温超高真空扫描探针显微镜(VT UHV SPM),它包括STM和AFM两部分,可以在25K~1100K之间对样品成像.我们利用此设备观察了Si(Ⅲ)面在不同退火速度下的表面原子结构图像.