【摘 要】
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设计了一种应用于双环境力下MEMS执行器。根据其结构特点对MEMS执行器进行静力学及运动学分析，应用能量法的卡氏第二定理分别推导出MEMS执行器中的折叠梁x、ly方向弹性系数的
【基金项目】
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辽宁省自然科学基金（2013020046）
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设计了一种应用于双环境力下MEMS执行器。根据其结构特点对MEMS执行器进行静力学及运动学分析，应用能量法的卡氏第二定理分别推导出MEMS执行器中的折叠梁x、ly方向弹性系数的计算公式。在AN．SYS／LS—DYNA中对MEMS执行器进行动力学仿真分析，得到执行器可动部件的运动曲线和整体的应力云图。计算结果表明，该执行器在引信的后坐环境和离心环境下均能可靠执行动作，具有结构紧凑、抗过载能力强的特点。
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